近期，一則消息在各大視頻平臺(tái)廣為傳播，稱(chēng)清華大學(xué)EUV項(xiàng)目把ASML的光刻機(jī)巨大化，實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化，并表示這個(gè)項(xiàng)目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。
對(duì)此，中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司（下稱(chēng)中國(guó)電子院）9月18日發(fā)聲，稱(chēng)該項(xiàng)目并非網(wǎng)傳的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠，而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目（HEPS）。
北京高能同步輻射光源項(xiàng)目坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國(guó)家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施，它是我國(guó)第一臺(tái)高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項(xiàng)目早在2019年就開(kāi)始建設(shè)、將于2025年底投入使用。
北京高能同步輻射光源項(xiàng)目實(shí)拍圖
HEPS是干嘛用的呢？它的作用是通過(guò)加速器將電子束加速到6GeV，然后注入周長(zhǎng)1360米的儲(chǔ)存環(huán)，用接近光速的速度保持運(yùn)轉(zhuǎn)。電子束在儲(chǔ)存環(huán)的不同位置通過(guò)彎轉(zhuǎn)磁鐵或者各種插入件時(shí)就會(huì)沿著偏轉(zhuǎn)軌道切線的方向，釋放出穩(wěn)定、高能量、高亮度的光，也就是同步輻射光。
中國(guó)電子院解釋稱(chēng)，HEPS可以看成是一個(gè)超精密、超高速、具有強(qiáng)大穿透力的巨型X光機(jī)，它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描，從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界，HEPS是進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)的大科學(xué)裝置，并不是網(wǎng)傳的光刻機(jī)工廠。
中國(guó)電子院稱(chēng)，該項(xiàng)目由全國(guó)勘察設(shè)計(jì)大師、國(guó)投集團(tuán)首席科學(xué)家?jiàn)溆顜ш?duì)，中國(guó)電子院多個(gè)技術(shù)科研和設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)協(xié)同合作，從項(xiàng)目可研立項(xiàng)到項(xiàng)目落地攻克了多項(xiàng)技術(shù)和工藝難關(guān)。目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工。
