①近日,日本佳能公司宣布推出FPA-1200NZ2C納米壓印半導體制造設備,該設備執(zhí)行電路圖案轉移,是重要的半導體制造工藝,未來有望對應2nm節(jié)點。
②據悉,納米壓印技術是傳統(tǒng)復雜光學光刻技術的替代解決方案,在集成電路領域的應用可實現更低成本的芯片量產。
①近日,日本佳能公司宣布推出FPA-1200NZ2C納米壓印半導體制造設備,該設備執(zhí)行電路圖案轉移,是重要的半導體制造工藝,未來有望對應2nm節(jié)點。
②據悉,納米壓印技術是傳統(tǒng)復雜光學光刻技術的替代解決方案,在集成電路領域的應用可實現更低成本的芯片量產。
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